分析范围0~50微米
分析误差5%
分析时间30秒
重复性0.1%
电源电压220V
EDX2000A能量色散X荧光光谱仪(全自动微区膜厚测试仪)对平面、凹凸、拐角、弧面等简单及复杂形态的样品进行快速对焦分析,满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动,双激光定位和保护系统。
应用领域
电镀行业、电子通讯、新能源、五金卫浴、电器设备
汽车制造、磁性材料、贵金属电镀、高校及科研院所等
测厚仪产品特性
★进口高精度传感器,保证了测试精度
★严格按照标准设计的接触面积和测量压力,同时支持各种非标定制
★测量头自动升降,避免了人为因素造成的系统误差
★手动、自动双重测量模式,更方便客户选择
★配备微型打印机,数据实时显示、自动统计、打印,方便快捷地获取测试结果
★打印值、小值、平均值及每次测量结果,方便用户分析数据
★仪器自动保存多100组测试结果,随时查看并打印
★标准量块标定,方便用户快速标定设备
★测厚仪配备自动进样器,可一键实现全自动多点测量,人为误差小
★软件提供测试结果图形统计分析,准确直观地将测试结果展示给用户
★配备标准RS232接口,方便系统与电脑的外部连接和数据传输
X荧光镀层测厚仪配置
01 立的X/Y/Z轴控制系统
02 微焦斑X光管
03 可变高压电源
04 防撞板外加防撞激光保护检测器对仪器进行双重安全保护
05 Fast-SDD探测器
06 双激光定位装置
07 标配可自动切换的准直孔和滤光片
Thick 8000 镀层测厚仪是针对镀层厚度测量而精心设计的新型仪器。主要应用于:金属镀层的厚度测量、电镀液和镀层含量的测定;黄金、铂、银等贵金属和各种首饰的含量检测。
2、性能优势
精密的三维平台
的样品观测系统
的图像识别
轻松实现深槽样品的检测
四种微孔聚焦准直器,自动切换
双重保护措施,实现无缝防撞
采用大面积高分辨率探测器,有效降低检出限,提高测试精度
全自动智能控制方式,一键式操作!
开机自动退出自检、复位
开盖自动退出样品台,升起Z轴测试平台,方便放样
关盖推进样品台,下降Z轴测试平台并自动完成对焦
直接点击全景或局部景图像选取测试点
点击软件界面测试按钮,自动完成测试并显示测试结果
3、技术指标
分析元素范围:从硫(S)到铀(U)
同时检测元素:多24个元素,多达五层镀层
检出限:可达2ppm,薄可测试0.005μm
分析含量:一般为2ppm到99.9%
镀层厚度:一般在50μm以内(每种材料有所不同)重复性:可达0.1%
稳定性:可达0.1%
SDD探测器:分辨率低至eV
采用的微孔准直技术,小孔径达0.1mm,小光斑达0.1mm
样品观察:配备全景和局部两个工业高清摄像头
准直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与
Ф0.3mm四种准直器组合
仪器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
样品室尺寸:520(W)x 395(D)x(H)mm
样品台尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平台速度:额定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平台重复定位精度 :小于0.1um
操作环境湿度:≤90%
操作环境温度 15℃~30℃
性能优势
1、结合镀层行业微小样品的检测需求,专门研发适用于镀层检测的超近光路系统,减少能量过程损耗。搭载的多导毛细管聚焦管,大的提升了仪器的检测性能,聚焦强度提升1000~10000倍,更高的检测灵敏度和分析精度以及高计数率保证测试结果的性和稳定性。
2、全景+微区双相机设计,呈现全高清广角视野,让样品观察更全面;微米级别分辨率,的满足超微产品的测试,让测试更广泛更便捷。
3、的多导毛细管技术,信号强度比金属准直系统高出几个数量级。
4、多规格可选的多导毛细管,的满足用户不同测试需求。
5、高精度XYZ轴移动测试平台,结合双激光点位定位系统,可实现在样品测试过程中的全自动化感受一键点击,测试更省心。
江苏天瑞仪器股份有限公司被授予 “火炬计划”,“江苏省”,“江苏省软件企业”,“江苏省科技创新示范企业”,“江苏省规划布局内软件企业”,“江苏省光谱分析仪器工程技术研究中心”等荣誉称号。X荧光光谱仪系列产品被认定为“新产品”和“江苏省高新技术产品”。产品品种,为环境保护与安全、工业测试与分析及其它领域提供解决方案。
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